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铝钪靶 (AlSc)
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铝钪靶主要用于半导体行业集成电路和微型电机器件镀膜。
元素符号
:
AlSc
合金成分
:
Al 9.6at%Sc; Al 20at%Sc; Al 30at%Sc
其它成分可定制
纯度
:
3N5+
形状
:
平面靶
外观
:
银白色、灰色，随合金成分不同而变化
典型密度
:
>2.92g/cm³
常规尺寸
:
Φ332mm
其它尺寸可定制
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