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硅铝靶 (SiAl)
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硅铝靶广泛用于低辐射玻璃和AR涂层。
元素符号
:
SiAl
合金成分
:
98/2; 90/10; 25/75 wt%
其它成分可定制
纯度
:
3N+
形状
:
平面靶
外观
:
银白色
典型密度
:
随合金成分而定
常规尺寸
:
平面靶
: D500mm
旋转靶
: L4000mm
其它尺寸可定制
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