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钴钽锆靶 (CoTaZr)
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钴钽锆靶材主要用于半导体集成电路和微电感器。
元素符号
:
CoTaZr
合金成分
:
Co4.5Ta4Zr
其它成分可定制
纯度
:
3N5+
形状
:
平面靶
外观
:
银灰色
典型密度
:
8.68g/cm³
常规尺寸
:
方形
: 600mm*130mm*12mm
圆形
: Φ440mm
其它尺寸可
定制
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